世界上的大型顯示屏制造商每天生產(chǎn)超過 100 萬個顯示屏。為實現(xiàn)這樣的產(chǎn)量，需要非常高速的生產(chǎn)工藝。

在前段生產(chǎn)步驟中更容易實現(xiàn)這種高速吞吐率。這是因為在顯示面板制造周期的第一階段，工藝是在可容納數(shù)百個顯示屏的玻璃基板上執(zhí)行的。因此，在準分子激光退火 (ELA) 和激光剝離 (LLO) 等步驟中，能夠一次性同時處理玻璃基板上的所有顯示屏。

但是當大尺寸基板被分成 “Cell” 時，情況會發(fā)生變化。這意味著要將大尺寸基板切割形成一個個單獨的顯示屏，或者在有些情況下切割形成包含幾個顯示屏的分組面板。就其本質(zhì)而言，這種 Cell 切割操作無法在整個面板上同時進行，而是需要按部就班執(zhí)行一系列操作。

當然，制造商不希望 Cell 切割成為生產(chǎn)瓶頸。此工藝必須與生產(chǎn)流程的其余環(huán)節(jié)保持節(jié)拍。

優(yōu)質(zhì)的切割工藝

理論上講，可以使用多種不同的方法輕松實現(xiàn)薄型柔性 OLED 顯示屏切割。然而，在實踐中，這一應用展現(xiàn)出一些獨特的問題。

首先，基板上每個顯示屏與相鄰顯示屏僅相隔幾毫米。其次，顯示屏的結(jié)構(gòu)是由一堆異構(gòu)材料組合而成，每種材料的切割特性可能不同。最后，顯示屏是相對精密且脆弱的電子設備，其組成的不同膜層，可能會因熱量或其他因素影響導致物理上的分離，從而對顯示屏造成損傷。

在所有上述條件的限制下，CO2 激光器提供了優(yōu)化切割工藝的最佳手段。這些激光器產(chǎn)生的高功率紅外光會被 OLED 結(jié)構(gòu)中的各種材料很好地吸收，這就意味著，每一層都能夠得到有效切割。而且，這些激光器在切割工藝中不會產(chǎn)生任何碎屑，從而避免對顯示屏外觀或功能可能造成的影響，或是需要引入額外步驟才能去除這類碎屑。

在 Cell 和偏光片切割工藝中，通常利用高速、精密的掃描系統(tǒng)來傳送聚焦的 CO2 光斑。這樣做可以提供所需的吞吐率，并能實現(xiàn)切口寬度較窄的直線切割。

Cell 切割涉及多個膜層

不過，能夠?qū)崿F(xiàn)快速切割的高功率激光也會帶來一些負面作用。這是因為，CO2 激光器發(fā)出的紅外光可用于切割的原理是基于熱效應。也就是說，激光會對材料進行加熱直到材料氣化。在切割過程中，如果在部件上施加過多熱量，會產(chǎn)生較大的熱影響區(qū)，進而損壞顯示屏電路。

此外，柔性 OLED 顯示屏的底部和頂部膜層都是聚合物材質(zhì)。如果這種塑料在切割過程中被過度加熱，材料中的一部分會被熔融但不會氣化。然后，它往往會流動并重新凝固成“珠子”形狀，從而在膜層邊緣處導致略厚的“唇緣”。

這個“唇緣”在后續(xù)生產(chǎn)步驟中會帶來問題，特別是在 OLED 顯示屏頂部貼附偏光片時問題更為突出。這種偏光片用于抑制環(huán)境光反射從而增強顯示對比度，也采用 CO2 激光器做切割，因此可能會遇到相同的邊緣增厚問題。

示意圖說明了使用連續(xù)二氧化碳激光器切割顯示屏單元板時的問題

在將這兩部分膜層壓合到一起時，邊緣的唇緣會在膜層之間產(chǎn)生氣泡或間隙。這是我們非常不希望發(fā)生的情況。

調(diào)制型 CO2 激光器切割

避免在切割邊緣產(chǎn)生唇緣的方法是對 CO2 激光器進行調(diào)制，這意味著要實現(xiàn)激光束的快速打開和關閉。這樣，激光作用產(chǎn)生的熱量仍然足以使材料氣化。但又不會讓激光加熱過程持續(xù)太長時間，從而導致熱量傳導深入到基板內(nèi)部，這種熱量會熔融基板內(nèi)部的材料，而不是完全去除。

有兩種不同的方法可以調(diào)制 CO2 激光器。第一種方法，是采用輸出連續(xù)波的激光器，然后使用外部聲光調(diào)制器將其切成脈沖。Coherent DIAMOND Cx-10LDE+ 就是這種方案，目前在平板顯示行業(yè)，它是 Cell 和偏光片切割工藝中最熱門的激光器型號。

Cx-10LDE+ 被如此廣泛使用的一個重要原因是其中內(nèi)置了調(diào)制器。通過這種方法，我們能夠把激光器和調(diào)制器完全集成在一起，從而優(yōu)化系統(tǒng)的整體性能。這對于達到高精度的脈沖控制和功率穩(wěn)定性至關重要，顯示面板制造商要求工藝具備極高的一致性和可重復性，上述性能是實現(xiàn)該目標的關鍵前提。

調(diào)制 CO2 激光器的第二種方法是 Q 開關。在這種方法中，調(diào)制器置于激光諧振腔內(nèi)部，以便激光器以脈沖模式（而不是連續(xù)模式）運行。這讓激光器的工作模式發(fā)生了很大變化。因此，外部調(diào)制器的引入可以使激光器輸出微秒級寬度脈沖， Q 開關方案則能夠產(chǎn)生更窄的納秒級寬度脈沖，而且還能顯著增加峰值脈沖功率。

這些更短的脈沖可進一步縮小熱影響區(qū)，還能夠?qū)崿F(xiàn)更高的精度以及更好地控制切割工藝。因此，許多顯示面板制造商正在轉(zhuǎn)向采用這種技術。Coherent DIAMOND Cx-10LQS+ 是市面上唯一一款 Q 開關 CO2 激光器。

更可靠，更省錢

Coherent 高意公司的激光器如此廣泛應用于 Cell 和偏光片切割的另一個原因，是它們的使用壽命和可靠性，以及我們的全球服務基礎設施。顯示面板制造商正在持續(xù)不斷地生產(chǎn)大量產(chǎn)品，而因激光器的維修或更換產(chǎn)生的生產(chǎn)停機時間會對生產(chǎn)效率和成本產(chǎn)生巨大影響。這些激光器出眾的使用壽命（通常在 1 萬到 2 萬小時）可確保不間斷生產(chǎn)高質(zhì)量的面板。而且，在最終需要更換激光器時，Coherent在全球的庫存和快速響應服務團隊可確保及時更換。

相約DIC 2022

作為一年一度海內(nèi)外新型顯示行業(yè)具有一定影響力的展覽會，DIC EXPO將于2022年11月23~25日在蘇州國際博覽中心舉辦。Coherent將攜各種新品亮相，為LCD TFT面板，OLED，新興的MicroLED和AR/VR顯示提供全面的激光解決方案。

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