2024年7月14日，由英諾激光牽頭的“高功率薄片超快激光器關(guān)鍵技術(shù)與產(chǎn)業(yè)化”項目啟動會在深圳成功召開。中國工程院院士、深圳大學特聘教授范滇元教授，中國科學院大連化學物理研究所化學激光先進精密光學技術(shù)研究組組長、國家光子標準專業(yè)委員會元件與材料分會副主任委員李剛研究員，浙江大學光電科學與工程學院光學工程研究所所長劉崇教授，英諾激光董事長趙曉杰博士等專家和項目團隊核心成員出席了會議。與會人員高度認同高功率薄片超快激光器的發(fā)展前景和重大意義，并圍繞項目目標就實施方案和下階段實施計劃開展了富有成效的討論。

“高功率薄片超快激光器關(guān)鍵技術(shù)與產(chǎn)業(yè)化”項目順應了超精密制造發(fā)展和制造業(yè)轉(zhuǎn)型升級的內(nèi)在需求，聚焦于千瓦級固體激光器、尤其是超快激光器的關(guān)鍵技術(shù)，目標是快速實現(xiàn)國內(nèi)高功率薄片超快激光器的產(chǎn)業(yè)化。該激光技術(shù)以其大能量、窄脈寬、高重復頻率、高峰值功率和高平均功率等優(yōu)勢，既可以克服傳統(tǒng)棒狀晶體結(jié)構(gòu)技術(shù)路線的散熱限制，又可以避免因激光損傷和非線性帶來的光纖激光技術(shù)路線不適合于大脈沖能量和高峰值功率的缺點，能夠更好地實現(xiàn)高效、高質(zhì)、高可靠、低成本的精密加工、尤其是“冷加工”，適用于航空航天、半導體、新型顯示、新能源、汽車、碳纖維、機器人、生物醫(yī)療、科學研究等多領(lǐng)域的高端加工場景。其中，在超精密加工領(lǐng)域，該激光器可實現(xiàn)高效加工，有效減少飛屑毛刺、提升生產(chǎn)效率；在半導體領(lǐng)域，大能量、高重頻超快激光是支撐EUV光源預脈沖的核心技術(shù)；在前沿科學領(lǐng)域，薄片激光技術(shù)是實現(xiàn)高平均功率阿秒驅(qū)動脈沖的有效手段，為阿秒技術(shù)走向商用提供了有效路徑；在新型顯示等其他高端加工場景，高功率、大脈沖能量的紫外、深紫外薄片激光器將以更好的穩(wěn)定性和更優(yōu)的成本替代目前尚需進口的準分子激光器，可見薄片激光器在諸多的高端和尖端領(lǐng)域有著廣闊的應用前景，將支撐這些領(lǐng)域的發(fā)展。

國際上，德國通快公司掌握了該激光技術(shù)并推出系列化產(chǎn)品。而國內(nèi)的該激光器的產(chǎn)業(yè)化尚處于空白，與前述公司的差距集中在薄片激光器增益模塊的設(shè)計、制造和封裝工藝、多沖程泵浦模塊等關(guān)鍵技術(shù)。英諾激光作為國內(nèi)固體和超快激光器龍頭企業(yè)，基于自身深厚的技術(shù)和產(chǎn)業(yè)化積淀，通過多年來與國內(nèi)領(lǐng)先科研機構(gòu)的合作研究，突破了多項關(guān)鍵技術(shù)，具備了推進產(chǎn)業(yè)化的扎實基礎(chǔ)。

此次，英諾激光聯(lián)合中國科學院大連化學物理研究所、浙江大學、深圳大學等國內(nèi)領(lǐng)先科研機構(gòu)，聚焦于完全自主知識產(chǎn)權(quán)的薄片激光器增益模塊的設(shè)計、制造和封裝工藝、多沖程泵浦模塊、高功率皮秒薄片激光器核心部件等，將在設(shè)計、材料、加工、封裝和調(diào)試等方面形成更多創(chuàng)新點和發(fā)明專利，加速高功率薄片超快激光器的產(chǎn)業(yè)化進程，從而支撐高端制造業(yè)的發(fā)展。

作為“科技重大專項項目”之一，深圳市科技創(chuàng)新局已于日前批準該項目立項，以資助公司使該項目圓滿達成預期目標。

“高功率薄片超快激光器關(guān)鍵技術(shù)與產(chǎn)業(yè)化”項目立足于公司在固體和超快激光器領(lǐng)域的深厚的技術(shù)和產(chǎn)業(yè)化積淀，將實現(xiàn)具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的工業(yè)級激光器從百瓦級向數(shù)千瓦級的跨越，憑借顯著的性能優(yōu)勢打開全新和更為廣闊的應用領(lǐng)域。公司將以此為契機，秉持創(chuàng)新驅(qū)動，堅定走“專精特新”之路，進一步強化在國內(nèi)激光行業(yè)的領(lǐng)先優(yōu)勢，提升在全球激光行業(yè)的競爭力，踐行“用激光造福人類”的使命。

文章來源：英諾激光

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