Precession Elephant III（簡稱PEIII）多軸掃描振鏡，是Novanta專為精密微加工研發(fā)的重量級產(chǎn)品，非常適合各種復(fù)雜幾何形狀和錐度的鉆孔需求，能達(dá)到非常出色的鉆孔精度和超快的加工速度，最小光斑尺寸< 8 μm，可以應(yīng)對最為極致苛刻的細(xì)節(jié)要求，是超高精度鉆孔加工的首選產(chǎn)品，比如探針卡、噴油嘴、噴絲板等等。而且這款產(chǎn)品多波長兼容性強(qiáng)、集成靈活度高，還配有內(nèi)置的對準(zhǔn)相機(jī)，嵌入到系統(tǒng)中集成速度也非�？焖�。

應(yīng)用示例

內(nèi)燃機(jī)噴油嘴加工

噴油嘴是發(fā)動機(jī)燃油噴射系統(tǒng)的核心部件，燃油經(jīng)過噴嘴高速噴出，形成霧狀，利于充分燃燒，而其中噴孔的幾何精度、內(nèi)部光滑度、邊緣精細(xì)有無毛孔等因素不僅會影響霧化均勻性，長期下來也會影響發(fā)動機(jī)整體的性能和壽命。而噴油嘴常規(guī)又分為汽油噴油嘴、柴油噴油嘴和天然氣噴油嘴等。

PEIII加工優(yōu)勢：最高的縱橫比設(shè)計，同時保證超高的表面質(zhì)量

汽油噴油嘴加工效果

典型加工參數(shù)：

• 材料厚度 0.02-0.4 mm
• 孔徑 25-300 μm
• 典型微孔加工時間 1.5 s
• 負(fù)錐度全角度可達(dá) 16°
• 孔縱橫比可達(dá) 12:1

柴油機(jī)噴油嘴加工效果

典型加工參數(shù)：

• 材料厚度 0.6-1.5 mm
• 孔徑 70-300 μm
• 負(fù)錐度全角可達(dá) 16°
• 孔縱橫比可達(dá) 12:1
• 直徑重復(fù)率 <0.4 %
• 孔徑精度 < 1 μm
• 孔圓度 > 95%
• 孔位置精度 < 1 μm
• 壁面質(zhì)量 Ra < 0.1 μm

探針卡加工

探針卡是半導(dǎo)體制造中用于晶圓測試的關(guān)鍵組件，主要用于芯片封裝前測量芯片的電氣性能,在進(jìn)行封裝工程前挑選出有缺陷的芯片, 是晶圓制造過程中對制造成本有重大影響的重要工藝。探針卡上的微孔數(shù)量眾多，尺寸微小，精度要求極高。

PEIII加工優(yōu)勢：最小光斑尺寸<8 µm，方孔設(shè)計時可獲得最小角半徑和最大的縱橫比。

探針卡加工效果

典型加工條件及參數(shù)：

• 用于晶圓上的微芯片檢測，氮化硅陶瓷基材加工
• 根據(jù)不同測試策略加工不同尺寸的微孔
• 處理后只需超聲波清洗
• 滿足高端樣品處理需求
• 典型材料厚度 0.2-0.5 mm
• 典型孔加工時間 < 1.5 s
• 方孔邊長 30-60 μm
• 邊角半徑 < 4.0 µm
• 微孔縱橫比可達(dá) 15:1

插針微切割

此銅針是直接裝配在探針卡上的用于測試的插針，是連接芯片/晶圓與測試設(shè)備進(jìn)行信號傳輸?shù)暮诵牧悴考�，尺寸要求達(dá)到微米級別，表面光滑度高，作為高端精密電子元器件，制造加工技術(shù)要求非常高。

PEIII加工優(yōu)勢：保障最佳表面質(zhì)量的情況下進(jìn)行零錐度切削

插針微切割效果

典型加工參數(shù)：

• 銅針橫截面小至35x35µm
• 尺寸公差<1µm
• 壁面質(zhì)量Ra < 0.1μm

噴絲板加工

噴絲板是紡織行業(yè)化學(xué)纖維制造過程中用于形成纖維絲的精密組件，表面分布眾多直徑微米級別的精細(xì)孔洞，在紡絲時，紡絲溶液或熔體從這些微孔中通過，以細(xì)流狀態(tài)擠入凝固浴或空氣中，即凝固或冷卻成為纖維。噴絲板在化纖、塑料、橡膠、食品、造紙等行業(yè)中均有廣泛應(yīng)用。

PEIII加工優(yōu)勢：保障最佳表面質(zhì)量的情況下進(jìn)行零錐度激光銑削

噴絲板加工效果

典型加工條件及參數(shù)：

• 復(fù)雜形狀和三維結(jié)構(gòu)
• 尺寸介于100和300µm之間
• 加工材料可包括不銹鋼、高溫合金、陶瓷等

PEIII是Novanta研發(fā)團(tuán)隊在原來PEII基礎(chǔ)上進(jìn)一步升級，采用更高端的光學(xué)器件、涂層工藝、數(shù)字伺服驅(qū)動等，保障更高的鉆孔頻率和更高的脈沖能量，鉆孔效率整體提升約50%，還可以提供完全根據(jù)客戶設(shè)備定制的子系統(tǒng)，可以達(dá)到開箱即用。更多詳情和應(yīng)用咨詢歡迎隨時聯(lián)系Novanta中國團(tuán)隊。

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